机译:反应性低压离子镀制备的不同介电薄膜的光学性质和机械应力概述
Thin Film Technology Group, Institute of Ion Physics and Applied Physics, University of Innsbruck, Technikerstr. 25, 6020 Innsbruck, Austria;
ion plating; optical properties; mechanical properties; dielectric thin film; Ta_2O_5; Nb_2O_5; HfO_2;
机译:反应性低压离子镀(RLVIP)产生的SiO2和Ta2O5薄膜的机械应力
机译:具有可变性地带含量的溶胶 - 凝胶PMMA-GPTMS-ZrO2杂交薄膜的光学,机械和介电性能
机译:O-2 / Ar气体流量比对溅射HfO2薄膜光学性能和机械应力的影响
机译:薄膜和纳米结构的物理性质:低介电膜的力学性能
机译:机械应力对光学多层介电薄膜多腔Fabry-Perot干涉膜的影响。
机译:内在应力对非晶硅掺杂SnO2薄膜结构和光学性能的影响
机译:离子电镀技术沉积光学介电薄膜的力学性能
机译:光学薄膜的机械和介电性能。劳伦斯利弗莫尔实验室的最终报告