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机译:NH_3流量对电子回旋共振等离子体对非晶氮化硅膜生长,结构和发光的影响
机译:碳源对电子回旋共振等离子体化学气相沉积反应器中碳氮化硅膜生长的影响
机译:电子回旋共振等离子体法沉积氮化硅薄膜的键结构和氢含量
机译:电子回旋共振-等离子辐射低温生长氮化硅薄膜
机译:用电子回旋谐振等离子体化学气相沉积制备氢化非晶碳化硅膜微观结构和光学性能的影响
机译:电子回旋共振等离子体辅助分子束外延在硅(111)衬底上生长和评估氮化镓。
机译:热退火对非晶硅氮化硅膜嵌入浓度的致密Si纳米蛋白光致发光的影响
机译:电子回旋共振等离子体法沉积氮化硅薄膜的键结构和氢含量
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长