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机译:使用热线CVD法制备的使用有机液体材料的TiO_2薄膜
机译:通过热线CVD法使用有机液体材料形成SiCN蚀刻停止膜
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机译:通过热线CVD制备的铝掺杂碳化硅薄膜:衬底温度对材料性能的影响
机译:通过热线辅助PECVD法制备的微晶硅膜的氢自由基密度的增加和改进微晶硅膜的晶体体积分数
机译:通过热线化学气相沉积制备的低温薄膜硅太阳能电池
机译:掺b非晶碳基薄膜:通过低温RF-PEMOCVD制备的光子材料
机译:使用热线CVD(Cat-CVD)工艺制备的氢化微晶硅薄膜的亚带隙光学吸收光谱