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机译:热注入后退火过程中重注入低压化学气相沉积硅薄膜中硼扩散的建模
Department of Electronics, University Mentouri Route d'Ain EL-Bey Constantine, Constantine 25000, Algeria;
boron; model; diffusion; silicon; LPCVD; crystallization; annealing;
机译:通过低压化学汽相沉积非晶SiN_x(x = 0.16)薄膜的热退火形成硅纳米晶体
机译:热退火对低压化学气相沉积氮化硅膜中紫外光引起的漏电流的影响
机译:大气压化学气相沉积硅酸硼玻璃薄膜中硅中硼的热扩散扩散的增强和延迟
机译:植入后热退火过程中晶粒长大和聚集对多晶硅中硼扩散的影响
机译:化学气相沉积硼掺杂多晶金刚石薄膜在硅和蓝宝石上的生长:生长,掺杂,金属化和表征
机译:从封面开始:通过低压/高温退火增强化学气相沉积单晶金刚石的光学特性
机译:热退火对AISI 304上低压,有机金属,化学气相沉积法沉积的Al2O3膜粘附的影响