机译:等离子体-聚合物相互作用的X射线光电子能谱分析,用于开发软材料的低损伤等离子体处理
Joining and Welding Research Institute, Osaka University, 11-1 Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan Japan Science and Technology Agency, CREST, Japan;
rnJoining and Welding Research Institute, Osaka University, 11-1 Mihogaoka, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan Japan Science and Technology Agency, CREST, Japan;
rnDepartment of Electronics, Kyushu University, 744 Moto-oka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, Japan Japan Science and Technology Agency, CREST, Japan;
Plasma Nanotechnology Research Center, Nagoya University Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Japan Japan Science and Technology Agency, CREST, Japan;
rnPlasma Nanotechnology Research Center, Nagoya University Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, Japan Japan Science and Technology Agency, CREST, Japan;
inductively-coupled plasma; low-inductance antenna; polymer; low-damage process; X-ray photoelectron spectroscopy;
机译:X射线光电子能谱,用于分析通过低电感天线单元的射频感应耦合在Ar等离子体中进行的等离子体-聚合物相互作用
机译:等离子体-聚合物相互作用形成无机-软材料杂化结构的组合分析
机译:软X射线光电子能谱研究镍超薄膜的发展及其与SrTiO3(100)表面氧的相互作用
机译:Li-O_2电池的反应机理分析:通过软X射线吸收光谱,硬X射线光电子能谱和原位硬X射线衍射探测的电极/电解质界面结构
机译:X射线光电子能谱技术在铌化学机械工艺开发中的应用,用于场释放质谱仪的硅的光改性以及对多功能氧化物异质结构的分析。
机译:TiO2(Ti)/ SiO2 / Si叠层内部结构的软X射线反射法硬X射线光电子能谱和透射电子显微镜研究
机译:等离子体-聚合物相互作用形成无机-软材料杂化结构的组合分析
机译:Cr与mos2(0001)相互作用的软X射线光电子能谱研究