机译:基于聚合物的软包装材料上的原子层沉积:生长特性和扩散阻挡特性
ASTRaL, Lappeenranta University of Technology, Prikaatinkatu 3 E, 50100 Mikkeli, Finland;
ASTRaL, Lappeenranta University of Technology, Prikaatinkatu 3 E, 50100 Mikkeli, Finland;
ASTRaL, Lappeenranta University of Technology, Prikaatinkatu 3 E, 50100 Mikkeli, Finland;
Tampere University of Technology, Paper Converting and Packaging Technology, P.O. Box 541, 33101 Tampere, Finland;
Tampere University of Technology, Paper Converting and Packaging Technology, P.O. Box 541, 33101 Tampere, Finland;
Tampere University of Technology, Paper Converting and Packaging Technology, P.O. Box 541, 33101 Tampere, Finland;
atomic layer deposition; thin films; polymer extrusion; flexible packaging material; satomic force microscopy; attenuated total reflection fourier-; transformed infrared spectroscopy (atr-ftir); gas diffusion barriers;
机译:通过原子层沉积在柔性聚合物基板上生长薄膜
机译:等离子增强原子层沉积Ti-Si-N薄膜的生长机理和扩散阻挡特性
机译:原子层沉积制备柔性Cu(In,Ga)Se2太阳能电池Al_2O_3扩散阻挡层的研究
机译:金属氧化物膜的原子层沉积作为柔性包装材料上的扩散阻挡层
机译:用于ULSI互连的难熔过渡金属基铜扩散阻挡层的原子层沉积和性能。
机译:基于低温热原子层沉积的高性能双层柔性电阻式随机存取存储器
机译:通过原子层沉积在生物基包装材料上生长的薄Al2O3阻隔涂层
机译:通过原子层沉积在生物基包装材料上生长的薄al2O3阻隔涂层(Ohuet Biopohjaisille pakkausmateriaaleille atomikerroskasvatetut al2O3-Barrierpinnoitteet)