机译:脉冲直流磁控溅射在室温下沉积高品质Al掺杂氧化锌的高能负离子轰击对薄膜光电性能的影响
Center for Nano Science and Technology @Polimi, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Pascoli 70/3,20133 Milano Italy;
Center for Nano Science and Technology @Polimi, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Pascoli 70/3,20133 Milano Italy;
Center for Nano Science and Technology @Polimi, Istituto Italiano di Tecnologia, Via Pascoli 70/3,20133 Milano Italy;
Transparent conductive oxide; Aluminum-doped zinc oxide; Magnetron sputtering; Off-axis deposition; Room temperature deposition; Thermo polymers; Ion bombardment; Ion confinement;
机译:ICP辅助反应式直流磁控溅射低温沉积铝掺杂氧化锌薄膜
机译:沉积压力对射频磁控溅射制备透明导电掺锆氧化锌薄膜性能的影响
机译:研究沉积温度和氮含量对通过直流磁控溅射制备的N掺杂SnO2膜的结构,光学和电性能的影响
机译:基质温度对DC反应磁控溅射制备的铝掺杂氧化锌膜性能的影响
机译:使用低压离子轰击溅射技术沉积氧化锌薄膜。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:高能轰击对溅射氧化锌膜结构形成的影响:原子生长模型的发展及其在调整薄膜性能中的应用