机译:使用热线化学气相沉积法生长微晶碳化硅对晶体硅表面钝化的影响
Forschungszentrum Julich, Photovolta IEK5, D-52425 Julich, Germany;
Helmholtz Zentrum Berlin Mat & Energie, D-12489 Berlin, Germany;
Forschungszentrum Julich, PGI PT 8, D-52425 Julich, Germany;
Forschungszentrum Julich, Photovolta IEK5, D-52425 Julich, Germany;
Forschungszentrum Julich, Photovolta IEK5, D-52425 Julich, Germany;
Microcrystalline Silicon Carbide; Surface Passivation; Hot Wire Chemical Vapor Deposition; Silicon Heterojunction Solar Cells;
机译:热线化学气相沉积制备的用于薄膜硅太阳能电池的铝掺杂p型微晶碳化硅窗口层
机译:低温热线化学气相沉积在硅基板上的晶体硅膜生长过程中的表面演变
机译:等离子增强化学气相沉积法沉积非晶硅碳化硅对晶体硅表面钝化的研究
机译:用催化化学气相沉积形成的超薄氮化硅膜的晶体硅表面的钝化
机译:通过低温化学气相沉积在硅上选择性外延生长碳化硅。
机译:逆扩散化学气相沉积法合成碳化硅膜的透气性能
机译:低温热线化学气相沉积在硅基板上的晶体硅膜生长过程中的表面演变