机译:等离子体辅助原子层外延在低温下生长和表征III-N三元薄膜
US Naval Res Lab, Washington, DC 20375 USA;
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III-Nitride ternary; Plasma assisted atomic layer epitaxy; Low temperatures;
机译:等离子体辅助分子束外延在具有最佳生长温度和低温缓冲层的c-Al2O3(0001)衬底上二维生长ZnO外延膜
机译:缓冲层生长温度对等离子体辅助分子束外延生长在多孔硅上生长的ZnO薄膜性能的影响
机译:通过等离子体辅助原子层外延外延生长立方和六方InN薄膜
机译:中空阴极等离子体辅助原子层沉积:低温合成III族氮化物晶体薄膜和纳米结构的新途径
机译:射频等离子体辅助分子束外延生长高质量氮化镓薄膜。
机译:逐层原位原子层退火法制备AlN超薄膜的低温原子层外延
机译:通过等离子体辅助原子层沉积对GaN薄膜的低温生长的基质影响
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究