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机译:使用Si3Cl8低温沉积氮化硅
Fraunhofer Inst Photon Microsyst Fraunhofer IPMS, D-01099 Dresden, Germany;
Lund Univ, Solid State Phys & Nanometer Struct Consortium, SE-22100 Lund, Sweden;
Fraunhofer Inst Integrated Syst & Device Technol, D-91058 Erlangen, Germany;
Silicon nitride; Atomic layer deposition; MOS capacitor;
机译:低压化学气相沉积后进行高温退火制成的氮化硅中嵌入的硅纳米晶体的光致发光
机译:氮化硅低压化学气相沉积的动力学蒙特卡洛模拟:气体流速和温度对硅团簇尺寸和密度的影响
机译:沉积温度对低压化学气相沉积法从SiCl4-BCl3-NH3-H-2-Ar混合物中沉积氮化硼硅的动力学和机理的影响
机译:使用电感耦合等离子体化学气相沉积技术低温沉积β相氮化硅。
机译:氮化铝和氮化硅的低温热化学气相沉积和催化化学气相沉积
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:氮化硅的低温化学气相沉积