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机译:通过热原子层沉积法沉积的Al2O3薄膜:光伏应用的表征
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Sci & Ingn Mat & Proc SIMaP, F-38402 St Martin Dheres, France;
Sci & Ingn Mat & Proc SIMaP, F-38402 St Martin Dheres, France;
Univ Lyon, INL, UMR5270, CNRS,Ecole Cent Lyon,INSA Lyon, F-59621 Villeurbanne, France;
Aluminum oxide; Atomic layer deposition; Thin films; Interface characterization; Surface passivation;
机译:通过热原子层沉积沉积的Al2O3薄膜的电传导机制和介电弛豫
机译:通过热蒸发和原子层沉积方法的氧化钼氧化物薄膜的结构和光学研究,用于光伏应用
机译:通过热原子层沉积法沉积的Ce-HfO2薄膜的物理和电学特性
机译:烧成后等离子体辅助原子层沉积沉积AL2O3薄膜的气泡控制研究
机译:使用原子和分子层沉积技术沉积的无机和杂化有机-无机薄膜的生长,表征和后处理。
机译:原子层沉积的TiO2和Al2O3薄膜作为铝食品包装用涂料
机译:通过热原子层沉积法沉积的Al2O3薄膜:光伏应用的表征