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机译:通过在室温下通过电子回旋共振化学气相沉积获得的薄SiO2 / a-Si:H / SiO2多层绝缘子,可用于非易失性存储器
Univ Autonoma Baja California, Inst Ingn, Blvd Benito Juarez S-N, Mexicali 21280, Baja California, Mexico;
Univ Estadual Campinas, Ctr Semicond Components, Rua Joao Pandia Calogeras 90, BR-13083870 Campinas, SP, Brazil;
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Fed Univ ABC, Rua Santa Adelia 166, BR-09210170 Sao Paulo, Brazil;
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Electron cyclotron resonance chemical vapor deposition; Multilayer; Gate dielectrics; Non-volatile memory; Amorphous hydrogenated silicon;
机译:多极电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积在室温下生长的SiO2薄膜中的导电和俘获机理
机译:电子回旋共振等离子体沉积的氮化硅薄膜增强了微机械系统应用中的化学气相沉积
机译:电子回旋共振化学气相沉积在高导电性掺硼锗薄膜上的低温生长
机译:电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备介电薄膜在半导体光电器件中的应用
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:在纤维素纳米原纤维自立膜上构建的SiO2 / Al2O3多层结构的低温原子层沉积
机译:等离子体增强化学气相沉积室温合成多孔SiO2薄膜
机译:siO2在2-10乇下的低温化学气相沉积