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机译:碳对非晶碳氮化硅薄膜结构和光致发光的影响
McMaster Univ, Dept Engn Phys, Hamilton, ON L8S 4L7, Canada;
Photoluminescence; Silicon carbonitride; Electron cyclotron resonance plasma-enhanced; chemical vapor deposition; Optical properties; Wide band gap;
机译:硅含量对碳富氢非晶硅碳化硅薄膜结构和光致发光性能的影响
机译:氢化碳氮化硅薄膜的微观结构和蓝色光致发光
机译:尾态联合密度法研究氢化非晶碳化硅薄膜的室温光致发光光谱及其在等离子体沉积氢化非晶碳化硅薄膜中的应用
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机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:通过快速热退火工艺增强氢化非晶碳化硅薄膜的光致发光
机译:使用三乙基硅烷和氮气的非晶氢化碳氮化硅(a-siCN:H)薄膜的常压等离子体CVD