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机译:氦浓度对13.3 kPa大气压等离子体沉积沉积的微晶硅薄膜太阳能电池的影响
Korea Inst Mat Sci, Surface Technol Div, Chang Won 641831, Gyeongnam, South Korea;
Korea Inst Mat Sci, Surface Technol Div, Chang Won 641831, Gyeongnam, South Korea;
Hanyang Univ, Dept Mat Sci & Engn, Seoul 133719, South Korea;
Chung Ang Univ, Sch Energy Syst Engn, Seoul 06974, South Korea;
Microcrystalline silicon; Solar cell; Plasma; Helium; High pressure;
机译:激光辅助等离子体增强化学气相沉积系统沉积的微晶硅基薄膜太阳能电池的高性能和高稳定性机理
机译:微晶硅薄膜通过超高频等离子体的高沉积增强了化学气相沉积和太阳能电池的制造
机译:微晶硅薄膜通过超高频等离子体的高沉积增强了化学气相沉积和太阳能电池的制造
机译:由热线电池沉积的无定形和微晶硅膜:应用于硅基薄膜太阳能电池
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:利用远程等离子体原子层沉积系统沉积的HfO2薄膜对硅进行表面钝化
机译:矩阵分布电子回旋共振等离子体高速沉积微晶硅薄膜和太阳能电池的工艺和材料挑战
机译:用于低成本太阳能电池应用的薄膜沉积的激光加热CVD(化学气相沉积)工艺:最终转包报告,1984年2月1日至1987年2月28日