L'ablation laser des polymères : processus fondamentaux et applications submicroniques

摘要

Dans cet article, les bases de l'ablation laser des polymères sont exposées en première partie. Ensuite nous présentons certaines applications, qui, en commun, démontrent le caractère submicronique de l'interaction laser à excimère avec les matériaux polymères, au niveau de sa résolution. Sont présentées dans l'ordre, les structurations périodiques submicroniques, le microperçage des matériaux et les perspectives de microfabrications.%In this paper, the basics of laser ablation of polymers are exposed in the first part. Then follows a presentation of various applications, that all demonstrate the submicron character of the excimer laser ablation of polymeric materials: The so-called submicron periodic structures, the materials microdrilling, and the microfabrications perspectives.