MICROSCOOP HELPT BIJ MAKEN CHIPS

摘要

In de gloednieuwe laboratoria van het Advanced Research Center for Nanolitho-graphy (ARCNL) in Amsterdam, dat eind november zijn deuren opende, gaat deze scanning tunneling microscope (STM) helpen om zo klein mogelijke chips te maken. Kern van de microscoop is een vuistgroot apparaatje middenin de metalen behuizing. Daarin zit een naald die zo scherp is dat de punt maar uit één atoom bestaat. Dat stelt de microscoop in staat om een oppervlak atoom voor atoom te bekijken en met die informatie een plaatje samen te stellen. Nieuw aan dit exemplaar, geheel gebouwd in Leiden, is dat het ook in staat is om filmpjes te maken van de atomen. 'Dat is belangrijk om het depositieproces - de essentie van het maken van chips - goed in beeld te krijgen', vertelt promovendus ir. Cristina Sfiligoj, die met de microscoop werkt.