MEMS/MicrosystemからNEMS/Nanosystem: トップダウンとボトムアップの融合ナノファブリケーションとナノシステムの設計

摘要

微小電気機械システム（MEMS：Micro Electro Mechanical Systems）は微小空間において，さまざまな物rn理化学量を相互作用させることで新規な機能を発現させrnるシステム・デバイスとして応用が拡大している［1］．近rn年ではMooreの法則（半導体の集積密度は，18～24ケ月rnで倍になる，という経験則）に従って微細化が進むLSIrnにおいても，MEMSとの融合による更なる機能向上を目rn指すMore than MooreあるいはBeyond Mooreの動きrnが活発になっている．