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PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF P-TYPE CVD DIAMOND FILMS-

机译：P型CVD金刚石膜的抗渗性能

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来源
《表面技術》 |1999年第6期|27-32|共6页
作者
MAKOTO KITABATAKE;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类金属腐蚀与保护、金属表面处理;
关键词
Diamond Filmsp-TypeMicrowave Plasma CVDPressure Sensors;

机译：金刚石薄膜式微波等离子体CVD压力传感器;

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