加熱触媒体上で生成した原子状水素を用いたプラスチック基板の表面処理

摘要

有機材料は安価，軽量，壊れにくく，柔軟であり，また， 近年，電気伝導性を有することも明らかとなり，その応用分 野は無限に広がろうとしている。特に有機エレクトロルミ ネッセンス（EL）を利用したフレキシプルディスプレイの研 究は盛んに行われており，この技術が確立されれば，いつで もどこでも大容量の情報を得ることができるようになる。し かし，そのフレキシプル性を生かすにはディスプレイ自体を 丸めた際にプラスチック基板とその上に形成される無機デバ イスがはく離しない必要がある。%The surface properties of a plastic substrate were changed using a novel surface treatment called atomic hydrogen annealing (AHA). In this method, a plastic substrate was exposed to atomic hydrogen generated by cracking hydrogen molecules on heated tungsten wire. Surface roughness was increased, and O atoms and halogen elements (F and CD were selectively etched by AHA. The surface modification of the PEN substrate affects the surface property of the SiN_x film. Adhesion between the SiN_x film and the PEN substrate in the SiN_x film/PEN substrate prepared by Cat-CVD shows excellent properties.