マイクロ波プラズマを用いた医療材料低温プロセス技術

摘要

現在，さまざまな分野においてプラズマを用いた各種材料 表面処理に関する研究開発が精力的に行われている。近年の 半導体産業を支えたULSIなど半導体デバイスのプラズマプ ロセス技術では，主にプラズマ中に生成されたラジカルと基 板材表面との化学的反応を利用したエッチング，アッシング あるいは化学的気相成長法（CVD）などが用いられ，現在で は数10 nmスケールの超微細化加工技術を実現している。