超純水製造方法: 前段イオン交換方式と前段RO膜方式

摘要

水は多くのものを良く溶かす極めて優れた溶媒であり，洗浄剤です。ハイテク産業の代表である電子産業分野において，超純水は洗浄剤として大量に使用されています。超純水とは，水中に溶解しているイオン成分はもちろんのこと，それ以外の有機物，生菌，微粒子，溶存酸素などの不純物も除去された水です。表1にLSI洗浄工程向け超純水の水質例を示します。これらの不純物は単一の処理方法では，除去が不完全です。