Gdoesナノ薄膜分析ですぐれた深さ分解能を持つデブスプロファイルを得るために

摘要

rf-GDOES（高周波グロー放電発光分析法）は亜鉛めっき鋼rn板のような厚い皮膜ばかりでなく，ナノ薄膜のデプスプロrnファイル分析に非常に有効な手法である。装置はSIMSrnやAESなどと異なり，超高真空やイオン銃などを必要としrnないため操作が非常に簡単で，分析も1μm程度までの厚さrnの皮膜ならわずか1分以内ですむ。