溶解度曲線を利用した化学溶液析出法による化合物薄膜析出挙動の把握

摘要

化学溶液析出法（Chemical Bath Deposition:CBD）は，水溶液中での化学反応を利用して基板上に薄膜材料を形成する手法である。CBD 法は硫化物または酸化物などの化合物を簡便に形成することのできる手法ではあるが，工業的に応用されている例は数少ない。