被覆した白金線対極を用いる溶液フロー型微小液滴セルによる線状多孔質型アルミニウム陽極酸化皮膜の形成

摘要

アルミニウムをリン酸，シュウ酸，硫酸等の酸性溶液中で陽極酸化すると，高い規則性を有する多孔質型陽極酸化皮膜が形成する。更に，容易に孔の径を制御できるため多くの研究報告や解説がある。その多くが大面積で陽極酸化皮膜を形成する報告であり，局部的に形成した報告は非常に少ない。しかし，領域を制限した陽極酸化法，特にマスクを用いない方法は，マイクロ分析セルや電子機器の小型化のために必要である。そこで，著者らはキャビラリ先端に形成した微小液滴を電気化学セルとして用いる微小液滴セルによる局部陽極酸化に着目した。%It is possible to form highly ordered porous type anodic oxide film by anodizing in acid solutions including oxalic acid, phosphoric acid, and sulfuric acid, and both pore size and thickness are controlled by the anodizing condition. Therefore, porous type anodic oxide films are widely used and studied. However, generally research on area-selected anodizing has been carried out with mask-processes. The solution flow type micro-droplet cell (Sf-MDC) has been applied to form thick porous type aluminum anodic oxide films locally. By coating a side wall Pt wire electrode, it is possible to reduce the width of the formed anodic oxide line without changes in the film formation reaction. Up to ten repeated passes, there is no change in the oxide film growth rate; the widths of the oxide lines were observed by a coated Sf-MDC electrode.