表面コーティングによる人工視覚用電極の高性能化

摘要

人工視覚に用いる刺激電極に着目し，表面コーティングによる高性能化について概説した。次世代の人工視覚電極で求められる電極の小型化を達成するために，表面コーティングは重要な技術の一つである。電荷注入能力が高い材料としてIrOxを選定し，その成膜方法を検討した。CMOSプロセス，との互換性が高く，膜質を積極的に制御可能な方法として反応性スパッタリングを選択し，成膜パラメータと電極性能の関係を網羅的に調査した。