プラズマを利用した洗浄技術とその応用

摘要

近年，従来幅広い分野で用いられてきた薬液を用いたゥエツトクリーニングにかわる技術として，プラズマ技術を用いたドライクリーニング技術が着目され，導入される分野が広がってきている。この背景には，従来のウエットクリーニングでは除去しにくい汚れ(残さ）に対する除去性能（エツチング速度）において，プラズマクリーニングの方が優れているためである。