机译:强大的相移掩模设计,成本更低
机译:高透射率嵌入层在透射率控制掩模中的应用仿真及衰减相移掩模的优化设计
机译:相移掩膜偏振法:使用相移掩膜监测193 nm高数值孔径的偏振和浸没式光刻
机译:具有扩展焦深和/或焦平面偏移的相移掩模的系统设计
机译:光刻掩模的两种新设计方法:相移散射棒和隔行相移掩模
机译:用于相移掩模设计的广义逆光刻方法。
机译:在工具训练的早期和晚期即刻早期基因Homer 1a和Zif268的皮质纹状体表达模式的动态变化
机译:为完整逻辑门电平启用交替相移掩模设计:设计规则和设计规则检查
机译:高性能低成本铁电移相器,专为简单偏置而设计。