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CRITICAL ETCH ADVANCES AT EVERY ROADBLOCK

机译:每个路段的关键电表进展

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摘要

When new materials are being developed, the focus seems to be on the deposition processes, with the assumption that someone will figure out how to etch them. (The situation is somewhat reversed, however, in some applications, with the advances being driven by new etch capabilities. See, for example, "New capabilities with 3-D laser etching."
机译:在开发新材料时,假设人们会想出如何蚀刻它们的方法,那么重点似乎放在沉积工艺上。 (但是,在某些应用程序中,情况有所逆转,其进步是由新的蚀刻功能推动的。例如,请参见“ 3-D激光蚀刻的新功能。”

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  • 来源
    《Solid state technology》 |2001年第1期|p.72767880|共4页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 一般性问题;
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 01:37:08

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