机译:使用金刚石薄膜的MEMS应用
机译:MEMS / NEMS应用的超纳米晶和纳米晶金刚石薄膜
机译:多晶金刚石在MEMS谐振器薄膜封装工艺中的应用
机译:超光滑电子束蒸发非晶硅薄膜-用于MEMS应用的PECVD非晶硅薄膜的可行替代品
机译:用于MEMS应用的超晶金刚石薄膜的机械性能
机译:用于MEMS封装的CVD多晶金刚石(poly-C)薄膜技术。
机译:具有Ru籽晶层的MEMS不可蒸发吸气薄膜的研制与表征
机译:金刚石,金刚石碳(DLC)和金刚石纳米复合材料(DLN)薄膜用于MEMS应用
机译:金刚石类金刚石薄膜的研究及其在大口径电动枪和相关储能装置(电容器和电池)中的应用