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Simultaneous FBE, DUV advanced film characterization

机译:同时进行FBE,DUV高级胶片表征

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摘要

The S3000S metrology system simultaneous measurement with multi-wavelength, multi-angle focus beam ellipsometry (FBE) and deep ultraviolet (DUV) reflecto-metry for in-line process control of advancedrndiffusion and fab-wide thin film applications. High-intensity, long-life laser light sources provide superior stability.
机译:S3000S计量系统可同时测量多波长,多角度聚焦椭圆偏振光(FBE)和深紫外(DUV)反射光度法,以在线控制先进的扩散和整个晶圆厂的薄膜应用。高强度,长寿命的激光光源具有出色的稳定性。

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  • 来源
    《Solid state technology》 |2009年第9期|23-23|共1页
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  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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