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摘要

Michael A. Fury, senior technology analyst at Techcet Group, gives his daily take on the most interesting/ relevant of the 4000 papers presented at this year's MRS Spring meeting. Topics include: advances in phase-change memory; progress in the searches for a higher-k dielectric than HfO_2 and carbon-doped TaN metal gate compositions; an "elegant" application of CMP to fix SiGe strain channels; inkjet printing to replace sputtering in display manufacturing; 3D patterned devices made with MEMS and self-assembly techniques; optical screening for metal hydrides; and more. Meanwhile, Intermolecular CTO Tony Chiang summarizes several talks on materials characterization, solar-cell technology, CMOS gate-stacks (high-k/metal gates), and the search to replace traditional flash memory with a manufacturable alternative.
机译:Techcet Group的高级技术分析师Michael A. Fury每天介绍在今年MRS春季会议上发表的4000篇论文中最有趣/最相关的部分。主题包括:相变存储器的进展;在寻找比HfO_2和碳掺杂的TaN金属栅极组成更高的k介电方面的进展; CMP的“优雅”应用来固定SiGe应变通道;喷墨印刷替代显示器制造中的溅射;采用MEMS和自组装技术制成的3D图案化设备;光学筛查金属氢化物;和更多。同时,分子间首席技术官Tony Chiang总结了一些有关材料表征,太阳能电池技术,CMOS栅极堆叠(高k /金属栅极)以及寻求用可制造的替代品替代传统闪存的演讲。

著录项

  • 来源
    《Solid state technology》 |2009年第6期|2-2|共1页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-18 01:35:22

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