Managing oxide growth on in-process storage wafers for cost and yield impact

Biligiri Suresh

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【24h】

Managing oxide growth on in-process storage wafers for cost and yield impact

机译：管理过程中存储晶片上的氧化物生长，以降低成本和良率

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来源
《Solid state technology》 |2014年第7期|31-33|共3页
作者
Biligiri Suresh;
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作者单位

Rorze Automat, Sales & Business Dev, Fremont, CA 94539 USA;

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
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