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Making the most of color in your multi-patterning layouts

机译:在多图案布局中充分利用色彩

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摘要

There are many different situations in which special attention to color choices provide the potential to improve the manufacturing results of multi-patterned masks.
机译:在许多不同的情况下,对颜色选择的特别注意提供了改善多图案掩模的制造结果的潜力。

著录项

  • 来源
    《Solid state technology》 |2018年第2期|26-29|共4页
  • 作者单位

    Mentor Graph Corp, Wilsonville, OR 97070 USA;

    Mentor Graph Corp, Wilsonville, OR 97070 USA;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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