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电子束光刻工具供应商Vistee，半导体研究小组CEA / Leti和DFM公司D2S正在合作完善和验证适用于45nm和32nm节点的先进的电子束设计技术。
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来源
《Solid State Technology》
|
2009年第2期
|
p.9-9
|
共1页
作者
Anonymous;
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作者单位
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收录信息
美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
原文格式
PDF
正文语种
eng
中图分类
关键词
入库时间
2022-08-17 13:43:31
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