EUV OPC flow optimization for volume manufacturing

Lucas; Kevin; Cobb; Jonathan; Yeap; Johnny; Do; Munhoe

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EUV OPC flow optimization for volume manufacturing

机译：用于批量生产的EUV OPC流程优化

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A flow diagram of a typical EUV mask synthesis total flow is shown in Fig. 1.

机译：典型的EUV掩模合成总流程的流程图如图1所示。

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来源
《Solid State Technology》 |2011年第8期|p.18-20|共3页
作者
Lucas; Kevin; Cobb; Jonathan; Yeap; Johnny; Do; Munhoe;
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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
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