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Thermodynamic analysis of Na-β″- and Na-β-Al_2O_3 deposition from halide vapours

机译:Na-β''-和Na-β-Al_2O_3从卤化物蒸气中沉积的热力学分析

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摘要

The CVD growth of Na-β″(β)-Al_2O_3 has been simulated using fluoride and chloride precursors. Simulation was conducted in dry and wet oxidising atmospheres in the temperature range from 1100 to 1600 K. Conditions of β″(β)-Al_2O_3 formation are predicted and optimised.
机译:已使用氟化物和氯化物前体模拟了Na-β''(β)-Al_2O_3的CVD生长。在温度为1100至1600 K的干,湿氧化气氛中进行了模拟。预测并优化了β''(β)-Al_2O_3的形成条件。

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