机译:具有超薄RTCVD氮化硅/氮氧化物堆叠栅极电介质的MOSFET中的电子迁移率
Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley, CA 94720, USA;
charge scattering; silicon nitride; electron mobility; RTCVD;
机译:通过远程等离子体增强CVD和沉积后快速热退火制备的具有氮化的Si-SiO / sub 2 /界面的超薄氮化硅/氧化物堆叠栅极电介质的PMOSFET的性能和可靠性
机译:用于p / sup +/-多晶硅栅极PMOSFET的超薄氮化物/氧化物(N / O)栅极电介质,通过远程等离子增强CVD /热氧化工艺组合制备
机译:沉积后处理对RTCVD制备的用于ULSI器件的超薄氮化物/氧化物栅堆叠的影响
机译:具有超薄RTCVD氧氮化物凸晶电极的N-和P沟道MOSFET的性质
机译:将超薄(1.6-2.0 nm)RPECVD堆叠的氧化物/氮氧化物栅极电介质集成到双多晶硅栅极亚微米CMOSFET中。
机译:超薄Hf-Ti-O高k栅介电薄膜的电学特性及其在ETSOI MOSFET中的应用
机译:全面了解具有氧氮化物和超薄栅氧化物的mOsFET中的载流子迁移率