机译:绝缘体上应变硅技术:从材料到器件
AmberWave Systems Corp., 13 Gambedian Drive, Salem, NH 03079, USA;
strained silicon; critical thickness; silicon germanium alloys; silicon on insulator; wafer bonding; leakage currents; MOSFETs;
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机译:绝缘体技术,材料和器件上硅的最新技术和未来
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