机译:氢在掺杂氢的非晶硅薄膜的准分子激光退火中的作用
University of Hvogo, Himeji 671-2280, Japan;
excimer laser annealing; hydrogen-modulation doped amorphous silicon; nucleation; desorption energy; polycrystalline silicon; amorphous silicon;
机译:氢调制掺杂非晶硅薄膜的准分子激光退火
机译:通过Cat-CVD制备的低氢含量的a-Si:H膜通过准分子激光退火进行结晶
机译:选择性硅离子注入对脱氢非晶硅薄膜准分子激光退火的影响
机译:准分子激光退火期间A-Si和Poly-Si薄膜的熔化与解决方法
机译:基准激光退火Si薄膜的微观结构分析与表面平面
机译:用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构
机译:氢调制的准分子激光退火掺杂A-Si膜