机译:镁掺杂ZnO FBAR的工艺优化与器件变化
Shanghai Univ, Sch Mat Sci & Engn, Shanghai 200444, Peoples R China;
Shanghai Jiao Tong Univ, Sch Elect Informat & Elect Engn, Shanghai 200240, Peoples R China;
Piezoelectric; FBAR; RF resonator; Bulk wave effects devices;
机译:用于生物传感应用的基于ZnO的SAW和FBAR器件(第222卷,第209页,2015年)
机译:基于ZnO的SAW和FBAR器件,用于生物传感应用
机译:热退火条件对FBAR器件中掺氮的ZnO薄膜的影响
机译:用于片上实验室应用的基于ZnO的SAW和FBAR器件
机译:基于BST的FBAR设备的建模与优化
机译:基于ZnO纳米棒/柔性共轭共聚物杂化体的湿法生电纳米压电器件
机译:低温燃烧处理稳定的Al掺杂ZnO薄膜晶体管:工艺可扩展至柔性器件