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Lower Thermal Budgets Affect Contamination

机译:较低的热预算会影响污染

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摘要

Tool builders and fab operators are constantly seeking ways to lower thermal budgets to speed throughput and use less resources, utilities and energy. For example, in some epitaxial deposition processes, engineers have been able to operate the processes at lower temperatures and still meet rigorous thin-film performance specifications.
机译:工具制造商和晶圆制造商一直在寻求降低热预算的方法,以提高生产率并减少资源,公用事业和能源的消耗。例如,在某些外延沉积工艺中,工程师已经能够在较低的温度下操作工艺,并且仍然符合严格的薄膜性能规格。

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