旺盛な試作ニーズに柔軟対応

摘要

0.5インチのシリコンウエハーを用い、幅30cmの製造装置を並べて、究極の多品種少量生産システムの実現を目指している「ミニマルファブ」。これにより、最先端工場であれば数千億円を要する設備投資額を1000分のーに抑え、わすか数億円ほどで超コンパクトな半導体製造ラインを構築することが可能となる。開発拠点としては、つくばセン夕ーに加え、産総研の臨海副都心セン夕ーにある新拠点(2022年2月に60台体制へ拡充)の2拠点体制。企業などからのMEMSやCMOS系デバイスの試作·開発ニーズに柔軟に対応していく。また、宇宙航空研究開発機構(JAXA)は、横河ソリューションサービスのアプリケーションに設置している前工程装置を用いて、小規模の集積回路を試作し、約1000卜ランジス夕の全数動作を確認。これは、民間企業として初めての成功事例となる。また、同ラボは、P-MOSや、MEMSミラー、ダイアフラム型のMEMS圧力センサーの試作にも対応する。ミニマルファブは、製造レシピの拡充も進めており、旺盛な試作·開発ニーズへ柔軟に対応していく。