液晶·ディスプレー神戶製鋼·コべルコ科研IGZO用に新材料耐酸性の高いターゲット材

摘要

㈱神戸製鋼所(神戸巿中央区脇浜海岸通2-2-4、☎078-261-5111)と子会社の㈱コべルコ科研は、新たな酸化物TFT材料とそれを用いたスパッタリングターゲット材を開発した。酸エツチング液に対する耐性を高めたことで、現在量産化されているIGZOでは困難だったバックチャネル型(BCE)TFTへの適用が可能になり、生産性の向上に寄与できる。2012年夏から国内外の液晶パネルメー力ーでサンプルテストを受けており、13年まごろからの量産採用を見込んでいる。生産はコベルコ科研が担当し、2～3年後に年産数tの規模を目指す。