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光コムの測定装置外乱光の影響排除

机译:光学梳状测量装置消除环境光的影响

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摘要

㈱光コム(東京都千代田区三崎町3-612、03-6380-9807)は、光コムレーザー光を利用した「光3ム形状測定器」を事業展開している。外乱光の影響を受けないため、生産ラインに直接組み込むかたちでの利用が期待されている。同製品が利用している「光コム」は、周波数の異なる複数の光の波が櫛(コム)のように一定の位相関係で並んでいる特殊なレーザー光である。光の精度が非常に高く、他の光源に左右されないという利点を持つ。展開している製品では、Z軸方向を10μm(高精度版は1μm)、XY方向は100μ精度で測定することができる。標準環境での測定速度は18mm秒で、対象物との距離が140mmまでなら離れていても測定が可能た。測定結果を解析し表示するソフトウェアは、ューザーの基準に合わせて同社がカスタマイズして提供する。
机译:Hikari-com有限公司(东京都千代田区三崎町3612,3-6380-9807,03-6380-9807)正在开发一种使用光学梳状激光的“ 3m形状测量仪”。由于它不受环境光的影响,因此有望直接结合到生产线中使用。产品所使用的“光学梳”是一种特殊的激光,其中多个频率不同的光波像梳一样以恒定的相位关系排列。其优点是光的准确性非常高,并且不受其他光源的影响。在已开发产品中,可以在Z轴方向上进行10μm的测量(对于高精度版本,则为1μm),而在XY方向上进行的测量精度为100μm。标准环境下的测量速度为18 mm sec,即使到物体的距离最大为140 mm,也可以进行测量。分析和显示测量结果的软件由满足用户标准的定制公司提供。

著录项

  • 来源
    《半導体産業新聞》 |2016年第2219期|10-10|共1页
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