リソテック，液浸中のリーチング測定を検討WEXA-2を用いて，液浸中のレジストからのリーチング速度を測定

摘要

ArF液浸露光におけるレジストからのリーチングrnは，スキャナのレンズを汚染する可能性があり，リrnーチング量をあらかじめ把握しておくことが重要でrnある。リソテックジャパンでは，ArFレジストからrnの液浸中のリーチング測定を行った。本稿ではそのrn測定方法を紹介する。