机译:具有25纳米分辨率的光刻技术
Chou SY, UNIV MINNESOTA, DEPT ELECT ENGN, NANOSTRUCT LAB, MINNEAPOLIS, MN 55455, USA;
机译:通过软共聚焦压印光刻和纳米转移成型在亚纳米〜200 nm分辨率下图案化锆酸钛酸铅纳米结构。
机译:光学近场压印光刻技术的高分辨率
机译:具有分子尺度分辨率的聚合物压印光刻
机译:用于高分辨率压印光刻的力解耦复合平行对准台的设计
机译:具有成本效益的压印模板制造,用于分步和快速压印光刻。
机译:分步重复液体转移压印光刻技术制造大面积辊模的系统
机译:使用聚合物交联的分子动力学扩展南北印记光刻的分辨率限制
机译:高分辨率,大面积,纳米压印光刻