首页> 外文期刊>Pomiary Automatyka Kontrola >Zastosowanie konfokalnej laserowej mikroskopii skaningowej do oceny cech stereometrycznych powierzchni technicznych
【24h】

Zastosowanie konfokalnej laserowej mikroskopii skaningowej do oceny cech stereometrycznych powierzchni technicznych

机译:使用共聚焦激光扫描显微镜评估技术表面的立体特征

获取原文
获取原文并翻译 | 示例

摘要

In modern metrology of geometric quantities there are often used methods originally developed for other applications and used in separate fields of modern science and technology. For several years there has been increasing interest in methods of confocal microscopy related up to now to the medical and biological sciences. One of the modern variant of these classical methods is CLSM (Confocal Laser Scanning Microscopy). This method was developed in the late 80's. In the paper there are presented and discussed the possibilities of using confocal laser scanning microscopy for the assessment of stereometric features of the engineering surfaces. The authors describe the basics of this method and present selected results of experimental investigations carried out using the advanced 3D laser micro-scope LEXT OLS3100 produced by Olympus (Fig. 1). The calibration specimens of C type (C2 and C3 variants) for calibrating the stylus profilometers (Figs. 2 and 3) and the surface of the microfinishing film of IDLF type (Imperial Diamond Lapping Film) (Fig. 4) were assessed. Measurements were taken for selected microscope settings, depending on the type of a material surface structure. The recorded measurement data were processed and analysed using dedicated LEXT OLS 5.0 software developed by the microscope manufacturer. The results of investigations confirmed the high usefulness of the measuring system for measurements of the geometrical structure of various types of engineering surfaces.%Coraz częściej we współczesnej metrologii wielkości geometrycznych stosowane są metody oraz urządzania pierwotnie opracowane dla innych celów oraz wykorzystywane w odrębnych dziedzinach nauki i techniki. Od kilku lat obserwuje się wzrost zainteresowania metodami mikroskopii konfokalnej związanymi do tej pory głównie z naukami biologicznymi i medycznymi. Jedną ze współczesnych odmian tych klasycznych metod jest konfokalna laserowa mikro- skopia skaningowa CLSM (ang. Confocal Laser Scanning Microscopy), opracowana pod koniec lat 80-tych XX w. W pracy przeanalizowano możliwość wykorzystania konfokalnej laserowej mikroskopii skaningowej do analizy cech stereometrycznych powierzchni technicznych. Przedstawiono podstawy tej metody oraz zaprezentowano wybrane wyniki badań doświadczalnych prowadzonych z zastosowaniem zaawansowanego mikroskopu laserowego LEXT OLS3100 firmy Olympus. Ocenie poddano wzorce kontrolne typu C (w odmianach C2 i C3), służące do wzorcownia i okresowego sprawdzania profilometrów stykowych oraz powierzchnię elastycznej foliowej taśmy mikrościernej typu IDLF (ang. Imperiał Diamond Lapping Film). Pomiary dokonywane były dla wybranych ustawień mikroskopu w zależności od rodzaju badanego materiału. Zarejestrowane dane pomiarowe przetwarzano i analizowano wykorzystując dedykowane oprogramowanie o nazwie LEXT-OLS 5.0 opracowane przez producenta urządzania. Wyniki badań potwierdziły wysoką przydatność wykorzystanego urządzenia pomiarowego oraz jego duże możliwości oceny struktury geometrycznej różnego rodzaju powierzchni technicznych.
机译:在几何量的现代计量学中,通常使用最初为其他应用开发的方法,并用于现代科学和技术的不同领域。几年来,人们对与医学和生物科学相关的共聚焦显微镜方法的兴趣不断增长。这些经典方法的现代变体之一是CLSM(Confocal激光扫描显微镜)。这种方法是在80年代后期开发的。在本文中,提出并讨论了使用共聚焦激光扫描显微镜评估工程表面的立体特征的可能性。作者描述了这种方法的基础,并介绍了使用奥林巴斯公司生产的先进的3D激光显微镜LEXT OLS3100进行的实验研究的选定结果(图1)。评估了用于校准测针轮廓仪(图2和图3)的C型(C2和C3变体)校准样品和IDLF型微精加工膜(皇家金刚石研磨膜)的表面(图4)。根据材料表面结构的类型,对选定的显微镜设置进行了测量。使用显微镜制造商开发的专用LEXT OLS 5.0软件对记录的测量数据进行处理和分析。调查结果证实了该测量系统对各种类型的工程表面的几何结构的测量具有很高的实用性。技术Od kilku lat obserwujesięwzrost zainteresowania metodami mikroskopii konfokalnejzwiązanymido tej porygłówniez naukami biologicznymi i medycznymi。 Jednązewspółczesnychodmian tych klasycznych metod jest konfokalna laserowa mikroskopia skaningowa CLSM(共聚焦激光扫描显微镜),opracowana pod koniec lat 80 XX w。 W pracy przeanalizowanomożliwośćwykorzystania konfokalnej laserowej mikroskopii skaningowej do analizy cechstereometrycznych powierzchni technicznych。奥林匹斯山下的LEXT OLS3100稳定生产线。Przedstawiono podstawy tej metody oraz zaprezentowano wybrane wy​​nikibadańdoświadczalnychprowadzonych z zastosowaniem zaawansowanego mikroskopu laserowego。 Ocenie poddano wzorce kontrolne typu C(w odmianach C2 i C3),służącedo wzorcownia i okresowego sprowdzaniaprofilometrówstykowych orazpowierzchnięelastycznej foliowej j Typ(钻石)。 Pomiary dokonywane作者:y dla wybranychustawieńmikroskopu wzależnościod rodzaju badanegomateriału。 Zarejestrowane dane pomiarowe przetwarzano和analizowanowykorzystującdedykowane o nazwie LEXT-OLS 5.0 opracowane przez产生了urządzania。 Wynikibadańpotwierdziływysokąprzydatnośćwykorzystanegourządzeniapomiarowego oraz jegodużemożliwościoceny struktury geometrycznejróżnegorodzaju powierzchni technicznych。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号