Analiza wrażliwościowa spektrometru mas z innowacyjnym układem polaryzacji źródła elektronów

摘要

Praca prezentuje wyniki badań wrażliwości spektrometru mas z nowatorskim układem polaryzacji źródła elektronów, zapewniającym niezależny dobór natężenia prądu emisji elektronowej i napięcia przyśpieszającego elektrony. Dzięki takiemu rozwiązaniu możliwe jest wyznaczenie wrażliwości natężenia prądu jonowego niezależnie względem natężenia prądu emisji elektronowej i napięcia przyśpieszającego elektrony. Badania objęły również pozostałe charakterystyki spektrometru mas oraz wrażliwości natężenia prądu jonowego względem ciśnienia i napięcia przyspieszającego jony. Wyniki potwierdzają zalety nowego rozwiązania w spektrometrze mas.%The sensitivity measurement results of a mass spectrometer (Fig. 1) with an innovative biasing system in an electron source [1] are presented. The biasing system ensures that an accelerating voltage and an electron emission current are independent of each other. Owing to that, the sensitivity of an ion current versus the electron emission current (Fig. 2), and independently versus the electron accelerating voltage (Fig. 3) can be determined. The researches included the determination of the mass spectrometer characteristics and sensitivity of the ion current in function of a pressure (Fig. 4.) and the ion current in function of an ion accelerating voltage (Fig. 5, Fig. 6). The results confirm that new biasing system is highly suitable for the mass spectrometer.