机译:MEMS流量传感器,用于自调整式精确非接触式液体分配
State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, P.R. China,State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, P.R. China;
State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, P.R. China;
State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, P.R. China;
Flow sensor; liquid dispensing; MEMS;
机译:用于自我调节的精确非接触式液体分配的MEMS流量传感器
机译:用于自我调节的精确非接触式液体分配的MEMS流量传感器
机译:MEMS流量传感器的设计,制造及其在精密液体分配中的应用
机译:精确的非接触式液体分配的闭环智能控制策略
机译:多功能,自感应和自动实时非接触式液体分配系统。
机译:MEMS流量传感器的设计制造及其在精密液体分配中的应用
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机译:具有化学选择性离子液体涂层的mEms传感器