アルバック·クテイオ「液体窒素ジェネレーター」半導体·医療分野など普及へ

摘要

アルバックグループのアルバック·クライォは、「液体窒素ジェネレーター」(液体窒素発生装置)を半導体、医療など幅広い分野に向けての普及に取り組んでいる。 同社は1981年に日本真空技術(現アルバック)と、米国ヘリックス·テクノロジー社(現Edwards Vacuum) CTIクライオジェニックス事業部の合弁会社として、超高真空を作り出すのに不可欠なクラィォポンプの製造·販売からスタート。現在はクライオポンプのほか、液体窒素ジェネレーター、極低温冷凍機などを生産。有機ELディスプレイ、照明、半導体、パヮーデバイス、センサー、光学膜など多種多様な製造·研究施設に納入実績を上げている。